江门市惠和永晟纳米科技有限公司
CMP浆料
特点
. 金属离子含量较低 单分散体系,粒径分布均匀
.产品各批次间品质一致性高
.可自由控制粒子大小及形貌
.分散稳定,不易凝聚、沉降
.速率高,无结晶,易清先
.表面质基好,周环能力强
选型品
.蓝宝石:SPS 不锈钢:SLPS.铝台金:AAPS.硅片:SSPS.申化镓:GAPS.硬盘:DPS
.人工体:ALPS.陶瓷:CPS